COH高精度同軸光

高解像度
通常のCO2の4倍の明るさ
高反射率物体の影を減らす

応用例
高精度部品の欠陥検出
高精度の寸法測定
チップ表面欠陥検出
ウェハサイズ測定と欠陥検出
精密医療機器部品の汚れ検出