COHシリーズ高精細同軸ライト

高解像度。
通常のCO2の4倍の明るさ。
高反射率の物体の影を減らす。

応用例:
高精度デバイス欠陥検出
高精度の寸法測定
チップ表面欠陥検出
ウェハサイズ測定と欠陥検出
精密医療機器部品の汚れ検出

COHシリーズ 高精細同軸ライト