COHシリーズ同軸ライト

高解像度。
通常のCO2シリーズ同軸の4倍の明るさ。
反射率の高い物体の影を減らします。

アプリケーション：
高精度なデバイス欠陥検出
高精度寸法測定
チップ表面欠陥検出
ウェーハサイズ測定と欠陥検出
精密医療機器部品の汚れ検出